磷酸三甲酯

關鍵詞：

MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

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產品描述

中文名	化學式	CAS號	別名	英文名	產能情況和庫存
磷酸三甲酯	C3H9O4P	512-56-1	TMPO	Trimethyl phosphate	前驅體

磷酸三甲酯（TMPO）
化學式	C3H9O4P
中文名稱	磷酸三甲酯
英文名稱	Trimethyl phosphate
CAS No.	512-56-1
分子量	140.07
應用	用于在半導體應用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC制造中有著廣泛的應用。二氧化硅原有的有序網絡結構由于硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。
產品規格	9N（99.9999999%）