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產品描述
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中文名 |
化學式 |
CAS號 |
別名 |
英文名 |
產能情況和庫存 |
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磷酸三甲酯 |
C3H9O4P |
512-56-1 |
TMPO |
Trimethyl phosphate |
前驅體 |
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磷酸三甲酯（TMPO） |
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化學式 |
C3H9O4P |
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中文名稱 |
磷酸三甲酯 |
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英文名稱 |
Trimethyl phosphate |
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CAS No. |
512-56-1 |
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分子量 |
140.07 |
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應用 |
用于在半導體應用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC制造中有著廣泛的應用。二氧化硅原有的有序網絡結構由于硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。 |
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產品規格 |
9N（99.9999999%） |
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